Produktionsanlage für Trimethylgallium

Abstract

Das vorliegende Projekt stellt die Installation einer Fertigung für Trimethylgallium (TMG) dar, einem wesentlichen Vorprodukt für die Herstellung bestimmter Halbleitermaterialien, z.B. zur Herstellung von anorganischen LEDs. Die Anlage basiert auf einem neu entwickelten und patentgeschützten Verfahren, welches eine hohe Atomökonomie und damit verbunden niedrige Verluste und Abfallmengen gegenüber alternativen Herstellwegen aufweist. Die Anlage wurde zwischen 2015 und 2017 gebaut und erfolgreich in Betrieb genommen; Kunden werden mit hochreinem TMG beliefert. Das ursprüngliche Projektziel einer nahezu quantitativen Galliumausbeute konnte für Roh-Trimethylgallium bereits realisiert werden. An Lösungen diesem Ziel auch für reinst-TMG noch näher zu kommen als es während der Projektlaufzeit erreicht wurde, wird gearbeitet. Die Reaktion zur Herstellung von TMG läuft wie geplant ohne organische Lösemittel, sondern in einer Salzschmelze; allerdings konnte das Ziel komplett auf organische Lösemittel zu verzichten derzeit noch nicht ganz erreicht werden, da damit momentan noch kleine Mengen pyrophorer Reststoffe deaktiviert werden müssen. Quelle: Forschungsbericht

The present project addressed the installation of production unit for Trimethylgallium (TMG), an essential precursor for the manufacturing of semi-conductors e.g. for the lighting industry (LED), based on a newly developed and patented process. This new highly atom-economic process results in lower losses and waste streams compared with alternative manufacturing processes. The production line was installed and commissioned between 2015 and 2017; customers are supplied with TMG of very high purity. The original target of nearly quantitative Gayield is already achieved for raw Trimethylgallium. Solutions to get even closer to this goal for TMG of very high purity than was achieved during the project period are being worked on. The reaction for the production of TMG runs as planned without organic solvents, but in a molten salt bath; however, the goal of complete omission of use of organic solvents has not yet been fully achieved, as small amounts of pyrophoric residues still have to be deactivated with organic solvent. Quelle: Forschungsbericht